再生洗浄・オーバーホール

半導体製造装置の部品やドライポンプ・ターボポンプ等の再生洗浄を承ります。

保守・メンテナンス

ご契約先のクリーンルームにて半導体製造装置の保守・メンテナンスを承ります。